Centrale de Micro-Nano Fabrication

CMNF
Technologies de l'information et de la communication Plateforme Monde numérique au service de l'humain

Notre plateforme permet la fabrication de composants et systèmes avancés dans des domaines variés tels que les (bio)MEMS, la photonique, les composants de puissance, les dispositifs haute fréquence / haut débit, la micro-énergie ou l’acoustique. Elle est l’une des 5 grandes centrales académiques françaises. Notre expertise est reconnue au niveau national et international dans différents domaines tels que la lithographie électronique ou  l’implantation ionique. Composée d’une vingtaine d’ingénieurs et techniciens qualifiés travaillant en étroite collaboration avec les chercheurs, notre équipe travaille sur les projets les plus ambitieux offerts par les micro et nanotechnologies. Nous sommes structurés autour de grands domaines de compétences : Croissances et dépôts de couches minces, Lithographie, Gravure, Implantation ionique, Caractérisation de procédés, Assemblage-Prototypage, ou encore BioMicrofluidique. En tant que membre du réseau RENATECH (réseau national des grandes centrales en micro-nanofabrication), nous pouvons accueillir toute demande de réalisation de briques technologiques ou de réalisation de dispositifs complets provenant d’entreprises ou d’instituts extérieurs.

Informations

Responsable technique : Bertrand Grimbert
Responsable scientifique : Christophe Lethien

https://www.iemn.fr/plates-formes/cmnf

Avenue Henri Poincaré
Campus Cité scientifique
59650 VILLENEUVE D'ASCQ

Mots-clés

Lithographie, Implantation ionique, Bio-microfluidique, Salle blanche (ISO6), Réseau Renatech, Nanofabrication, Photonique, Electronique flexible, Micro-système, Nanoélectronique

Localisation

  • Micro-dispositifs et composants électroniques
  • Dépôt de matériaux, structuration de ces matériaux par lithographie / gravure et analyse in line
  • Dépôts de films minces en phase vapeur (métaux, oxydes, nitrures) par PVD et CVD (AP CVD, LP CVD, PE CVD). 
  • Dépôts par couches atomiques par ALD thermique et plasma
  • Biomicrofluidique
  • Soft lithographie
  • Lithographie optique et électronique
  • Gravure chimique / gravure physique par plasma / implantation ionique
  • Croissance épitaxiale par jets moléculaire
  • Structuration laser

Exemples de projets :

  • Transistor de puissance
  • Composants d'émission et de réceptions photoniques
  • Composants RF et THz
  • Microsource d'énergie
  • MEMS, BIOMEMS
  • Fabrication technologique de micro-dispositifs et composants électroniques
  • Fabrication, caractérisation et utilisation de dispositifs biomimétiques (équipements microfluidiques...)
  • Dépôt de matériaux (par évaporation, par pulvérisation, par couche atomique, dépôt thermique, dépôt de plasma à basse température)
  • Impression à jet d'encre
  • Croissance de matériaux III-V (Ga, As, Sb, ...)
  • Caractérisation des matériaux
  • Structuration de matériaux par lithographie / gravure et analyse in line
  • Lithographie optique 
  • Lithographie électronique
  • Gravure chimique 
  • Gravure par plasma inductif
  • Gravure ionique réactive
  • Montage-Assemblage
  • Prototypage et développement de démonstrateurs

La plate-forme CMNF s’étend sur 1600m² de salle blanche certifiés ISO6 et 260m² supplémentaires dédiés au back-end. La centrale dispose d’une large palette d’équipements allant des basiques de l’industrie du semi-conducteur aux équipements de pointe en micro-nanofabrication. L'ensemble des équipements représente une valeur totale d'environ 30 M€ et comprend des équipements consacrés à des étapes spécifiques du processus de réalisation technologique: les outils de lithographie laser, équipements à faisceau électronique, équipements pour gravure profonde, des chambres de traitement, implanteur ionique, outils d'évaporation et de pulvérisation, fours tubulaires, des microscopes optiques, des microscopes à haute résolution, équipements de polissage, de découpes de wafers, soudures et bien d'autres.

Découvrez la liste détaillée des équipements.

INSA Lyon, Institut de Chimie et des Matériaux Paris-Est (ICMPE), Institut de Minéralogie, de Physique des Matériaux et de Cosmochimie (IMPMC), Chimie des processus biologiques - Collège de France, Institut Jean Lamour, Institut de Physique Nucléaire de Lyon, Université Claude Bernard Lyon, Université du Littoral Côte d'Opale, Université Montpellier
MIT (Etats-Unis)

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